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六氟乙烷作为等离子蚀刻工作气体在发展微电子工业方面起着重要作用，是加工超大规模集成块工艺中所必需的介质，又用做制冷和空调的冷媒。六氟乙烷还可与HFC-23组成不损害臭氧层的共沸剂R-508B,R-508B用做多级压缩循环中在低温段替代CF-13和R-503的替代物，还可用做化学反应中的添氟剂，电气设备的绝缘剂和高介电强度冷却剂，器件表面清洗和光纤生产。
注意事项：
| 化学式 | C2F6 | 危险货物编号 | 22034 | |
| 理化性质 | 外观与性状 | 无色无臭气体。 | 溶解性 | 微溶于水 |
| 熔点（℃） | -101℃ | 相对密度(水=1) | 4.7 | |
| 沸点（℃） | -78℃ | 临界温度（℃） | 19.7℃ | |
| 毒性及健康危害 | 侵入途径 | 吸入。 | ||
| 健康危害 | 纯品几乎无毒，空气中浓度较高时，应该佩戴防毒面具。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴自给式呼吸器。避免高浓度吸入 | |||
| 急救方法 | 吸入：脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。灭火方法：切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。雾状水。 | |||
| 产品规格 | 99.995% | 99.999% | ||||
氧气(O2) | ＜4ppm | ＜1ppm | ||||
氮气(N2) | ＜9ppm | ＜4ppm | ||||
甲烷 (CH4) | ＜5ppm | ＜1ppm | ||||
一氧化碳(CO) | ＜1ppm | ＜1ppm | ||||
二氧化碳(CO2) | ＜2ppm | ＜1ppm | ||||
水(H2O) | ＜7ppm | ＜1ppm | ||||
酸度(氯化氢) | ＜0.1ppmw | ＜0.1ppm | ||||
时间：周一至周五（9:00-18:00）
电话：028-67870005
邮箱：scion.cd@scion-gas.com
网站：www.scion-gas.com
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