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在钨的氟化物中，六氟化钨是唯一稳定并被工业化生产的品种。它的主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层，可用于X-射线的发射电极。此外，六氟化钨在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。 六氟化钨还有许多非电子方面的应用，例如通过CVD技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善钢的表面性能。它还可用于制造某些钨制部件，如钨管和坩埚等。此外，WF6还被广泛用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。
注意事项：
| 化学式 | WF6 | 危险货物编号 | 23025 | |
| 理化性质 | 外观与性状 | 无色无臭液体。 | 溶解性 | 水解（0℃ 1atm） |
| 熔点（℃） | 2.3℃ | 液态密度 | 13.29kg/m³（1atm21℃） | |
| 沸点（℃） | 17.2℃ | 临界温度（℃） | 169.85℃ | |
| 毒性及健康危害 | 侵入途径 | 吸入。 | ||
| 健康危害 | 遇潮湿、空气或水分解，散发也剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。该品对眼睛、皮肤和粘膜能引起非常严重的烧伤。 | |||
| 急救方法 | 吸入时，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅，如呼吸停止，立即进行人工呼吸，就医；皮肤与液体接触脱去污染的衣物，用流动清水清洗。在灼伤出涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水，就医。眼睛接触液体时，先用大量水冲洗数十分钟，然后就医。 | |||
| 产品规格 | 99.9999% | |||||
六氟化硫 (SF6) | ＜0.5 | |||||
氧气(O2)+ 氩气(Ar) | ＜0.5 | |||||
一氧化碳(CO) | ＜0.5 | |||||
二氧化碳(CO2) | ＜0.5 | |||||
四氟化碳（CF4） | ＜0.5 | |||||
三氟化氮 (NF3) | ＜0.5 | |||||
四氟化硅(SiF4) | ＜0.5 | |||||
| 氮气（N2） | ＜1 | |||||
氢氟酸(HF) | ＜5 | |||||
时间：周一至周五（9:00-18:00）
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