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四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧，是比较稳定的无毒物质。但是在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa时，水中溶解度为0.0015%(重量)。有轻微的水解作用。。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中
注意事项：
| 化学式 | CF4 | 危险货物编号 | 22033 | |
| 理化性质 | 外观与性状 | 无色无臭气体。 | 饱和蒸气压（kpa） | 13.33kap(15.07) |
| 熔点（℃） | -186.8℃ | 相对密度(空气=1) | 3.038 | |
| 沸点（℃） | -128℃ | 临界温度（℃） | -45.6℃ | |
| 毒性及健康危害 | 侵入途径 | 吸入。 | ||
| 健康危害 | 吸入高浓度四氟化碳出现呼吸困难、呕吐等窒息症状，接触液体会造成冷烧伤。 | |||
| 急救方法 | 吸入时，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅，保证温暖，如出现冻疮时，就医；皮肤与液体接触发生冻伤时，用大量水冲洗，不要脱掉衣服，并给予医疗护理；眼睛接触液体时，先用大量水冲洗数分钟，然后就医。 | |||
| 产品规格 | 99.99% | 99.999% | 99.9999% | |||||
氮气（N2） | ＜40ppm | ＜5ppm | / | |||||
氧气（O2） | ＜20ppm | ＜2ppm | ＜100ppb | |||||
氩气（Ar） | / | / | ＜20ppb | |||||
氢气（H2） | / | / | ＜100ppb | |||||
总烃THC | ＜10ppm | ＜1ppm | ＜50ppb | |||||
一氧化碳（CO） | ＜10ppm | ＜1ppm | ＜50ppb | |||||
二氧化碳（CO2） | ＜10ppm | ＜1ppm | ＜100ppb | |||||
水（H2O） | ＜10ppm | ＜2ppm | ＜200ppb | |||||
时间：周一至周五（9:00-18:00）
电话：028-67870005
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